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导电薄膜的荷电载流子在输运过程中受到表面和界面散射,当薄膜的厚度可与电子的自由程相比拟时,在表面和界面的影响将变得显著,这个现象称为薄膜的尺寸效应。它等效于载流子的自由程减小,因此与同样材料的块体相比,薄膜的电导率较小。由于制备技术欠完善,通常薄膜中的缺陷浓度比较高,主要缺陷为杂质、空位、填隙原子、位错晶界,以及表面和界面的吸附偏析等。

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